*bronkhorst氣體金屬密封質(zhì)量流量控制器

EL-FLOW金屬密封F-201CM

氣體金屬密封質(zhì)量流量控制器

• 獲得專li的金屬對(duì)金屬密封結(jié)構(gòu)可確保長(zhǎng)期密封（對(duì)大氣）
• 電拋光的潤(rùn)濕零件
• 潔凈室組裝
• 高精度，高重復(fù)性
• 多氣/多量程功能（可選）
• 快速建立時(shí)間（低至600毫秒）

金屬密封氣體質(zhì)量流量控制器

Bronkhorst的®  特別設(shè)計(jì)模型F-201CM質(zhì)量流量控制器（MFC），以滿足市場(chǎng)的SEMICON以及其他高純度氣體應(yīng)用的要求。該儀器具有較高的表面質(zhì)量，并且采用金屬對(duì)金屬密封的模塊化結(jié)構(gòu)，可確保長(zhǎng)期的密封性。F-201CM適用于在真空和1000 psig（64 bar）之間的工作壓力下精que測(cè)量和控制流量范圍，范圍從0.12…6 sccm到1…50 slm（基于N 2）。

EL-FLOW ®  金屬封閉系列配備有數(shù)字印制電路板，提供高精度，優(yōu)良的溫度穩(wěn)定性和快速響應(yīng)。主數(shù)字電路板包含測(cè)量和控制所需的所有常規(guī)功能。除了標(biāo)準(zhǔn)的RS232輸出外，儀器還提供模擬I / O。作為一種選擇，一個(gè)板上接口可被安裝到提供的DeviceNet™，PROFIBUS DP，MODBUS，EtherCAT的®，PROFINET或FLOW-BUS協(xié)議。的EL-FLOW ®  金屬密封設(shè)計(jì)提供可選的多氣體/多范圍功能，提供（OEM-）客戶jia的靈活性和工藝效率。

德國(guó) bronkhorst
F-201EV-PAD-88-Z VCR1/4"0.1-5 2.5bar/1.5bar HCL數(shù)量2
F-201CV-500-PAD-88-E VCR1/4"0.008-0.4 2.5bar/1.5bar H2S數(shù)量1
F-201CV-10K-PAD-88-Z VCR1/4"0.1-5 2.5bar/1.5bar CO2數(shù)量1
F-201CV-2K0-PAD-88-V VCR1/4"0.05-2.5 2.5bar/1.5bar CO數(shù)量1
F-201CV-5K0-PAD-88-V VCR1/4"0.1-5 2.5bar/1.5bar CH4數(shù)量1
F-201AV-50K-PAD-88-V VCR1/4"1-50 2.5bar/1.5bar N2數(shù)量1
F-201AV-70K-PAD-88-V VCR1/4"1.5-75 2.5bar/1.5bar H2數(shù)量1
F-201AV-50K-PAD-88-V VCR1/4"1-50 2.5bar/1.5barH2數(shù)量1
F-201CV-20K-PAD-88-V VCR1/4"0.4-20 2.5bar/1.5bar H2數(shù)量1
M14+C2I VCR1/4" 20℃ 20-1000g/h 1.5bar/0.9bar TiCl4液體數(shù)量1
M13+C2I VCR1/4" 20℃ 2-100g/h 1.5bar/0.9bar CH3CN液體數(shù)量1